控制器由PLC和PC组成,用户界面友好
密码等级管理
必要的安全互锁
手动和自动操作模式
实时监控工艺参数
工艺数据可追溯,历史数据曲线图表精确
支持SEMI SECS / GEM标准通讯协议和MES系统
专有软件永久使用权,终身升级
